芯上微装第500台步进光刻机成功交付,芯碁微装光刻机多少纳米
人民财讯8月8日电,8月8日,上海芯上微装科技股份有限公司(简称:AMIES)举办了第500台步进光刻机交付仪式。此次发运的第500台步进光刻机将交付给盛合晶微,后者是集成电路晶圆级先进封测企业。
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